公司概况:
珠海某半导体制造公司,该公司生产高性能集成电路(IC)芯片,产品广泛应用于智能手机、计算机、汽车电子和其他高科技设备中。为了满足快速增长的市场需求,公司决定扩建其生产设施,并计划新建一座洁净室,洁净度标准达到 ISO 5 级别(Class 100),这意味着每立方米空气中最大允许有 100 个大于 0.5 微米的颗粒。
项目简介:
半导体制造过程对空气中的微粒要求极其严格,因为任何污染物都会影响芯片的良品率和性能。公司不仅需要高度洁净的环境,还面临能源效率、温湿度控制等问题。同时,随着芯片制程的不断缩小(比如从 10nm 向 7nm 甚至 5nm 技术节点的过渡),洁净度要求变得更高,空气流动的稳定性也至关重要。
解决方案:
为了满足这些要求,该公司决定采用FFU模块化系统,来替代传统的集中式空气处理设备 (AHU)。FFU的主要优势是能够灵活安装在洁净室天花板上,通过局部控制气流,提供高效、稳定的空气过滤。