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ISO洁净室标准中的5级，也被称为“百级洁净室”或“100级洁净室”。这个级别指的是在洁净室内，每立方米的空气中，大于或等于0.5微米的颗粒物的数量必须小于3520个，具体见下列表格



相当于Fed 209E的100级标准。属于高洁净度等级洁净室。

ISO 5级洁净室对于空气中的微粒有严格的控制要求，包括尘埃微粒、细菌、灰尘粒子等。这些微小颗粒的数量被严格限制，以保证洁净室内的空气质量达到很高标准。人员在进入此类洁净室时，必须穿着连体无尘服，以防止带入任何污染物。同时，洁净室内还会使用电离设备来消除静电，进一步保证环境的洁净度。

在医药、生物技术、芯片制造、航空航天研究领域需要高度洁净环境的行业中，ISO 5级洁净室的应用非常广泛。